박막시료가 표본이 된다. ② 전자다발 중에서 aperture(전자, FE-SEM 자료등록 , FE-SEM], 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], FE-SEM 자료등록 , 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], 일련의 전자다발은 양극에 인가된 전기장에 의하여 시료를 향해 가속된다. - 특징 - 먼저 장점을 살펴보면 다음과 같다.공학 자료등록 분석기기에 관해 - 주사전자현미경SEM, X선 회절 분석기XRD 자료등록 , IC, 후방산란전자 등이 방출되며, X선 형광 분석기XRF 자료등록 , 고분자 재료나 세라믹과 같은 절연물의 고체, 반사전자, 시차 열 중량 열량 분석기TG-DTA 자료등록 , 적외선, 이 때 검출된 이차전자의 양은 표면의 물질과 표면의 굴곡에 따르기 때문에 표면의 미세한 확대상을 얻을 수 있. , X선 형광 분석기XRF 자료등록 , 입도분석기 [공학]분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, 가시광선, X선 회절 분석기[XRD], 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하며, 투과전자,, 그 결과 초점이 맞지 않게 ......
공학 자료등록 분석기기에 관해 - 주사전자현미경SEM, FE-SEM 자료등록 , X선 형광 분석기XRF 자료등록 , X선 회절 분석기XRD 자료등록 , 시차 열 중량 열량 분석기TG-DTA 자료등록 , 입도분석기 DownLoad
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공학 자료등록 분석기기에 관해 - 주사전자현미경SEM, FE-SEM 자료등록 , X선 형광 분석기XRF 자료등록 , X선 회절 분석기XRD 자료등록 , 시차 열 중량 열량 분석기TG-DTA 자료등록 , 입도분석기
[공학]분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 분석기[XRF], X선 회절 분석기[XRD], 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], 입도분석기
분석기기에 관해 - 주사전자현미경[SEM, FE-SEM], X선 형광 분석기[XRF], X선 회절 분석기[XRD], 시차 열 중량 열량 분석기[TG-DTA], 입도분석기
1. 주사전자현미경 (SEM, FE-SEM)
- 개요 -
NT(Nano Technology)의 연구가 증가하면서 자연스럽게 미세구조물 또는 재료의 표면 형상에 대한 정보가 요구되고 있는 것이 현재의 추세이다. 이러한 요구를 충족시키기 위하여 전자현미경이 계발 되었다.
주사전자현미경(SEM)은 Torr 이상의 진공 중에 놓인 시료표면에 1~100nm 정도의 미세한 전자선을 x-y의 평면방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광선, 적외선, X선, 내부 기전력 등의 신호를 검출하여 모니터에 확대상을 표시하며, 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량 등을 분석하는 장치이다. 주로 금속과 같은 도체, IC, 산화물과 같은 반도체, 고분자 재료나 세라믹과 같은 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다.
자기렌즈를 이용하여 전자빔을 가늘게 집속하여 이를 시료면 위에 주사함으로써 발생하는 이차전자를 검출하며, 이 때 검출된 이차전자의 양은 표면의 물질과 표면의 굴곡에 따르기 때문에 표면의 미세한 확대상을 얻을 수 있다. 배율은 시료면 위와 모니터 위의 주사 진폭의 비로 정해진다.
SEM의 분해능은 전자빔을 가늘게 만들수록 높아지는데 보통 3~5nm 정도를 사용한다.
- 원리 -
(사진출처 : 주사전자현미경의 기본원리와 응용 - 코셈 고객지원팀 -)
대부분의 전자현미경의 작동원리는 다음과 같이 정리할 수 있다.
① 전자총에 전압을 인가하면 필라멘트에서 전자가 방출되며, 일련의 전자다발은
양극에 인가된 전기장에 의하여 시료를 향해 가속된다.
② 전자다발 중에서 aperture(전자, 빛, 전파 그 밖의 방사가 그 곳을 통하여 주어지
는 개구부분 - 네이버 지식사전 -)의 홀을 통과한 것들은 자기장을 이용한 자기
렌즈에 의해서 집속되고 파장이 일정한 전자빔을 형성한다.
③ 이 전자빔이 다시 자기장을 이용한 대물렌즈에 의해서 시편에 초점을 형성한다.
이 때 수차가 발생할 경우 stigmator(컬럼의 오염이나 전자기장 또는 광학계의
미세한 결함에 의해 spot의 형태가 왜곡될 수 있으며, 그 결과 초점이 맞지 않게
되어 해상도를 떨어뜨리게 된다. 이를 보정하는 코일을 비점수차 보정 코일 -
네이버 지식iN -)에 의해 조정할 수 있다.
④ 시편에 입사되는 전자들과 시편 내에 포함된 원자 및 전자들이 상호작용하여 이
차전자, 후방산란전자 등이 방출되며, 적절한 검출기를 통해 이들을 포집하여 디
지털 신호로 변환 시킨다.
⑤ 디지털 신호로 획득된 신호는 컴퓨터에서 적절한 알고리즘에 의해 재해석한 후
영상으로 모니터에 출력 또는 저장된다.
참고 : 부도체 시료의 관찰시 전자빔의 전자가 시료에 축적되어 궁극적으로 전자빔을 밀어내는 역할을 하게 되므로 이미지가 왜곡 될 수 있으므로, 부도체 시료의 표면을 Au 또는 Pt 등의 전도체로 코팅하는 것이 바람직하다.
- 특징 -
먼저 장점을 살펴보면 다음과 같다.
① 분해능이 높기 때문에 고배율로 물체를 관찰할 수 있다. 열방사형 텅스텐 필라
멘트 방식의 SEM은 10배 이상(분해능 : 3~5nm), 전계방사형 SEM(FE-SEM)은
최대 100만배(분해능 : 0.5~2nm)까지 확대상을 얻을 수 있다.
② SEM은 고배율 뿐 아니라 10~100배의 저배율 관찰에도 사용할 수 있다. 렌즈를
교환하지 않고 전류에 변화를 줌으로써 배율을 조절할 수 있기 때문이다.
③ 광학현미경과 달리 피사계 심도(관찰 대상물의 확대영상에서 초점이 맞는 깊이
범위)가 대단히 깊다.
(사진출처 : 주사전자현미경의 기본원리와 응용 - 코셈 고객지원팀 -)
④ 최근 디지털 영상을 제공하기 때문에 영상의
[문서정보]
키워드 : 공학,분석기기에,관해,주사전자현미경,SEM,FE,X선,형광,분석기,XRF
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